​多功能數(shù)字式方阻測(cè)試儀是運(yùn)用方形四探針Keywell測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置，它與直線四探針相比，消除了探針游離對(duì)測(cè)試結(jié)果的不利影響，大大提高精度，并提高微區(qū)測(cè)試能力，

它可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。也可測(cè)柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻（簡(jiǎn)稱方阻），換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。

本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能，大分類10類

儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)、游移率小、壽命長(zhǎng)；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。

三、基本技術(shù)參數(shù) 

1.測(cè)量范圍、分辨率

電    阻：     1.0×10-3～ 200.0×103 Ω,    分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω

電 阻 率：     1.0×10-3～ 20.0×103Ω-cm  分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω-cm

方塊電阻：     1.0×10-3～ 20.0×103Ω/□  分辨率1.0×10-3～ 0.1×103 Ω/□

2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸

直        徑：  測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.

長(zhǎng)（或高）度：  測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤160mm,    其他方式不限.

3.量程劃分及誤差等級(jí)

4)工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W

5)外形尺寸：W×H×L=20cm×7.5cm×18cm

凈   重：≤1kg

更新時(shí)間：2024/11/5 9:23:21